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工業高純氫氟酸

項   目

指標

EL級

UP級

UP-S級

UP-SS級

總酸度(以HF計)w/%

49.0±0.5

49.0±0.5

49.0±0.2

49.0±0.2

氟硅酸(H2Si F6)w /(mg/kg)           ≤

50

50

30

30

氯化物(以Cl計)w /(mg/kg)          ≤

5

5

0.2

0.05

硝酸鹽(以NO3計)w /(mg/kg)        ≤

3

3

0.1

0.05

磷酸鹽(以PO4計)w /(mg/kg)        ≤

1

1

0.1

0.05

硫酸鹽(以SO4計)w /(mg/kg)        ≤

5

5

0.2

0.05

鋁(Al)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

砷(As)w /(μg/kg)                  ≤

200

10

1

0.1

硼(B)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

鋇(Ba)w /(μg/kg)                  ≤

100

10

1

0.1

鈣(Ca)w /(μg/kg)                  ≤

100

10

1

0.1

鎘(Cd)w /(μg/kg)                  ≤

50

10

1

0.1

鉻(Cr)w /(μg/kg)                   ≤

20

10

1

0.1

銅(Cu)w /(μg/kg)                   ≤

20

10

1

0.1

鐵(Fe)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

鉀(K)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

鋰(Li)w /(μg/kg)                   ≤

20

10

1

0.1

鎂(Mg)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

錳(Mn)w /(μg/kg)                  ≤

50

10

1

0.1

鈉(Na)w /(μg/kg)                   ≤

100

10

1

0.1

鎳(Ni)w /(μg/kg)                   ≤

50

10

1

0.1

鉛(Pb)w /(μg/kg)                   ≤

50

10

1

0.1

鈦(Ti)w /(μg/kg)                    ≤

100

10

1

0.1

銻(Sb)w /(μg/kg)                   ≤

50

10

1

0.1

錫(Sn)w /(μg/kg)                   ≤

20

10

1

0.1

鋅(Zn)w /(μg/kg)                   ≤

50

10

1

0.1

顆粒

(≥1.0μm)/(個/mL)     ≤

25

(≥0.5μm)/(個/mL)     ≤

25

5

(≥0.2μm)/(個/mL)     ≤

20

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